cvd공정 이해1 반도체 엔지니어를 위한 CVD 공정 소개 반도체 엔지니어를 위한 CVD 공정 완벽 가이드안녕하세요, 반도체 공정에 관심 있는 엔지니어 여러분! 오늘은 반도체 제조의 핵심 기술 중 하나인 CVD(Chemical Vapor Deposition, 화학기상증착) 공정에 대해 자세히 알아보겠습니다.목차 1. CVD란 무엇인가?CVD는 기체 상태의 화학 물질(전구체)을 이용해 고체 물질을 기판 위에 증착하는 기술입니다. 반도체 제조에서는 절연막, 전도막, 반도체막 등 다양한 박막을 형성하는 데 사용됩니다.1.1 CVD의 역사1880년대: 백열전구 필라멘트 제조에 처음 사용1960년대: 반도체 산업에 본격적으로 도입1980년대: PECVD 기술 개발로 저온 공정 가능해짐2000년대 이후: ALD 기술의 상용화로 나노 스케일 제어 가능1.2 CVD vs PV.. 2025. 3. 4. 이전 1 다음 반응형
